洞头网讯(记者 苏煜晗 潘道阳)6月28日下午，2023年度网格员燃气安全“入格”业务培训会议暨燃气从业人员安全教育培训会召开，进一步提高基层网格员及燃气行业从业人员的业务水平，确保全区城镇燃气再排查再整治专项行动及燃气安全教育工作取得实效。

　　会上，区综合行政执法局相关工作人员为网格员、燃气协会工作人员及燃气经营站点从业人员讲解各燃气运行场所安全用气注意事项。并针对网格员在“入格”检查时需要关注的重点进行逐一说明。

　　“现在很多用户，包括检查人员，对燃气隐患，查什么，怎么查，概念还是比较模糊，我们主要针对这方面进行培训，再细化安全整治，达到知识普及。”区综合行政执法局工作人员张艳军说。

　　据了解，下一步，我区还将继续开展灶具安全、用电安全及“双气源”“双燃料”用气安全等多领域“排雷”检查，并把宣传发动、典型曝光作为整治行动的重要任务，及时发布燃气安全知识，全面提高居民安全用气意识及消除隐患能力。

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　1991年，姚家伟正式跟随父亲学习傩戏，那时这门古老艺术正濒临失传。“我父亲姚克水时常在家小声哼唱，生怕被人听见。”姚家伟回忆道。正是这微弱的声音，点燃了他对傩戏的热爱，也将传承池州傩戏作为自己毕生的使命。 

　　匠心传承，从父亲手中接过傩戏火种 

　　池州傩戏被誉为“戏曲活化石”，保留了宋杂剧、南戏等古老戏曲形态，最初用于民间驱邪纳福、祈求丰收。20世纪60年代，这门古老艺术面临失传危机。 

　　姚家伟出生在傩戏世家，祖辈都是傩戏传承人。在父亲的小声哼唱中，儿时的姚家伟对傩舞傩戏产生了浓厚兴趣。1991年，他正式跟随父亲和其他老艺人学习傩戏。 

　　傩戏表演要求极高，需要通过肢体语言传达情绪，对眼神、身段都有严格标准。学习之初，姚家伟难以领悟技巧，在父亲手把手指导下，他不停地腾挪闪转，磨炼傩舞技艺。傩戏的难点不仅在于动作，更在于唱腔。傩戏唱腔没有曲谱，只有唱本，靠口口相授流传。姚家伟常常捧着剧本背台词到深夜，熟练掌握繁杂冗长的台词。 

　　表演时需要佩戴重逾2斤的木雕面具，固定在脸上，经年累月，姚家伟的脸部都被夹磨破皮。“留存下来的面具都非常珍贵，能佩戴表演已经很难得，每场表演都要尽善尽美。” 

　　为掌握更全面的技艺，姚家伟还练习了傩戏中最难的踩高跷。在反复练习与表演中，他逐渐成长为优秀的傩戏表演者。 

　　抢救整理，让濒临失传的剧目重获新生 

　　为更好地传承傩文化，姚家伟与老一辈共同整理傩戏资料，到各地搜集傩戏唱腔剧本。“那时候听闻哪家有传下来的傩戏剧本，我们就连日去拜访学习。”在他的不懈努力下，《孟姜女》《章文显》《陈州放粮》等许多傩戏被重新挖掘出来。傩戏表演逐渐活跃，从乡土民间走上更高规格的舞台。 

　　2008年2月，姚家伟被文化部命名为国家级非物质文化遗产项目傩戏（池州傩戏）代表性传承人。这是对他多年来努力的最好认可。 

　　培育新苗，让年轻一代接过传承火炬 

　　技艺成熟后，姚家伟思考如何让更多人了解、参与傩戏。从组织人员到傩戏教学，他事无巨细，忙碌不停。 

　　每年正月，他全程参与傩事活动，从前期筹备到演出安排，从台下教学到台上表演，都亲力亲为。多年来，仅正月期间他就表演傩戏300余场。 

　　“姚街村正月傩仪已延续600余年了，每年正月的傩事活动是整个家族最重要的大事。”姚家伟说，“特别是本村的学生们，寒假归来积极投身傩戏练习，我被深深打动。就冲他们这股认真劲，我也要毫无保留地传授所学。” 

　　教学时，姚家伟总是最早到场，将面具、服饰、道具摆放整齐。他先示范整套动作，每一个转身、踏步都力求精准，汗水浸透戏服也毫不懈怠。教“踩罡步”时，见学生记不住复杂舞步，他就用粉笔在地上画出行走路线，自己踩着斑驳的线痕反复走给孩子们看，青石板上渐渐磨出发亮的轨迹。 

　　有学生面具戴歪了，他立刻上前调整系带：“傩面是傩戏的精髓，戴端正了才有威仪。”深夜排练结束后，他总是留下加练的学生，点着灯细说戏文典故。 

　　创新融合，让古老艺术焕发时代生机 

　　为使傩戏更易被大众接受，姚家伟根据传统傩戏剧本《五星会》，新编排了《五星观赏》，充分融合现代元素。他还在《打赤鸟》傩舞表演中创造性改进舞伞动作和唱腔方式，赋予新的时代内涵。 

　　2015年，他应邀参加“中国南昌傩文化艺术周”表演活动，获得“伞舞”金奖和“关公登殿”优秀节目奖。2018年，他远赴法国巴黎参加“原生态意象节”，其表演得到国际友人和文艺界专家的高度肯定。 

　　姚家伟经常组织“送戏进校园”活动，不仅带领团队去往安徽师范大学等高校演出，还深入各乡村学校，让学生们近距离接触傩戏，培养他们对傩戏的兴趣与热情。“牢记使命，一代代延续。这是传承一种精神，一种信仰。”姚家伟说。 

　　他深知队伍年轻化是保护和传承傩戏的关键。这些年来，他以国家级传承人身份在池州市傩戏传习馆教授傩戏，积极参加各类活动宣传傩文化，希望带动更多年轻人走近、了解、传承傩戏。2015年7月，池州市启动非遗“名师带徒”工程，姚家伟作为傩艺培训班老师，参与了6批工程，带出方超、姚新祥等多名徒弟。 

　　夜幕降临，姚街村的傩戏排练场地依然亮着灯。姚家伟抚摸着傩面具上的纹路，仿佛触摸到父亲当年的目光。那些专注与坚守里，流淌着对傩文化的深爱。青石板上发亮的轨迹，不仅是脚步磨出的印记，更是一条连接过去与未来的文化之路。“只要还有人愿意学，我就会一直教下去。”姚家伟说这话时，眼神坚定如初。 （马泽冰）